아이셀 주식회사『X・Y・θ 얼라인먼트 스테이지』

 

아이셀 주식회사『X・Y・θ 얼라인먼트 스테이지』

 

 

3개의 액추에이터를 동일 평면상에 배치하는 것으로 박형화! 간단한 구조!

「X・Y・θ얼라인먼트 스테이지」는, 테이블 이송에 초고정밀도 직동
액추에이터 “밀리언 액추에이터”를 채용하는 것으로 고정밀도 이송을
실현한 제품입니다.

테이블 안내에는 롤러식 직동 가이드 「밀리언 가이드」를 채용.
고강성과 저진동의 양립을 실현했습니다.

【특징】
■고정도
■고강성
■초박형・심플 구조
・테이블 중앙에 구멍을 마련하고 있어, 빛을 통과하는 것도 가능