아이셀 주식회사초고정도·고강성 직동 액추에이터 「밀리언 액추에이터」
1μm의 강성·이송 정밀도·직진성을 겸비한 액추에이터
본 제품은 고정밀 미세 직동 이송이 필요한 광학 기기의 렌즈
미러 이동, 미소 각도 조정이나 반도체 제조 장치의 얼라인먼트 스테이지
X, Y, θ축 조정부 등에 사용되는 직동 액추에이터입니다. .
가이드부에는 비개방형 롤러식 가이드 「밀리언 가이드」의 활용과
독자적인 구조의 개발에 의해, 서브 미크론 단위로의 초고정밀도 미소 이송과
고속 이송의 양립화를 실현.
고객의 요구에 맞추어 스트로크의 장단·스케일 피드백·
모터의 변경 등의 커스텀 대응도 실시하고 있습니다.
【특징】
■ 소형화
■ 고속화
■ 초고정밀도 미소 이송
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