일본 파이오닉스 주식회사진공 센서 「730 시리즈」
컴팩트한 사이즈로 저비용. 반도체 제조 라인 등에서 활약. 정전용량형
「730 시리즈」는 컴팩트 사이즈, 저비용, 고정밀도를 실현한
세트라시스템즈사의 진공 센서입니다. 커패시턴스의 변화를 감지하여
선형 직류 전압 신호로 변환하여 출력합니다.
온도 보상 범위가 넓고 내압 성능이 뛰어나 다양한 용도로 사용할 수 있어
태양광 패널, 반도체, 석유화학 등 폭넓은 분야의 공정 제어로
중요한 진공 압력 범위의 측정에 활약합니다.
【특징】
■극히 낮은 노이즈 영향
■접가스부에 인코넬을 채용
■CE마크 대응/RoHS 준거
■접속 피팅의 선택이 가능
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