모멘티브 테크놀로지스 재팬 주식회사반도체 제조용 고온 히터, 정전 척 및 내열 충격 세라믹
실리콘 반도체·SiC 및 GaN제 파워 반도체 제조 프로세스에 대응. 고온, 진공, 부식성 가스 분위기 중 등에서 뛰어난 성능을 발휘.
파이로리틱 보론나이트라이드(PBN)나 탄탈 카바이드는 높은 내열성이나 내식성을 가지며,
급속 승강온·초고온을 용이하게 실현할 수 있는 세라믹스입니다.
PBN은 다양한 형상으로 증착 제조 또는 가공이 가능.
초고온 히터와 고온 정전 척, 흑연 보호 코팅도 있습니다.
PBN 기능부품은 유기 EL 제조 공정, 반도체 단결정 성장 공정,
기타 고온 진공 공정 등의 개선에 기여합니다.
【특징】
■12인치 웨이퍼(300mm 웨이퍼)에도 대응 ■
초고진공・고온(1700℃※) 조건에서 사용할 수
있는 에 안정
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