넓은 작동 온도 범위! 내약품성(부식성 가스, 대부분의 용제 등)이 뛰어난 센서
정전용량 방식을 채용한 「ME550」은, 60mbar라고 하는 매우 낮은
압력의 측정에 적합한 센서입니다.
높은 내압을 특징으로 하고, 반도체 제조 장치를 비롯하여, 농업용 계측 장치나 기상용 계측 장치 등의
어플리케이션에 적합하다.
Al2O3 세라믹은 내화학성(부식성 가스, 대부분의 용매,
산 등)이 우수합니다.
【특징】
■정전용량 방식을 채용
■내화학 약품성(내산성・내알칼리성)
■기계적 견뢰성
■넓은 동작 온도 범위
■초저압 측정：0～60mbar
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